[发明专利]去除全氟碳化物气体的系统和方法

权利要求书

1.去除全氟碳化物气体的方法，包括以下步骤：

a)将待处理气体经流量控制器(2)通入反应管(3)中，微波功率为200-2000W，气体流速为0.5-40L/min，四氟化碳浓度在1-10000mL/m³的范围内，在反应管中采用微波点火，产生微波等离子体，对混合气体进行连续处理；

b)经步骤a)处理后的气体经过填充在反应管末端的催化剂床层(5)进一步处理；床温度在600-900K；

c)处理后的气体采用湿式吸收法吸收处理后排放，湿式吸收液采用饱和Ca(OH)₂溶液，温度为35℃以下；

所述的去除全氟碳化物气体的方法所使用的去除全氟碳化物气体的系统主要包括以下装置：在待处理气体输入口(1)处设置有一流量控制器(2)，流量控制器(2)通过管路连接到反应管(3)，在反应管(3)的内部通过微波产生等离子体(4)，按照气体流入的方向在等离子体后部设置有催化剂床层(5)，所述的等离子体(4)由微波发生器(8)通过波导管(7)提供能量，波导管(7)和反应管(3)采用中心点直接耦合方式，由于是流动中的气体被电离产生等离子体，等离子体为等离子体炬形，气流经等离子体(4)处理后，再经过催化剂床层(5)反应，处理后的气体通过湿式吸收装置(6)吸收氟化氢气体，最后排入大气。

2.根据权利要求1所述的去除全氟碳化物气体的方法，其特征在于所述的催化剂床层中的催化剂包含γ-Al₂O₃、TiO₂、ZrO₂、SiO₂、Co₂O₃、WO₃、V₂O₅、Fe₂O₃、CuO、NiO中的一种或几种。

3.根据权利要求2所述的去除全氟碳化物气体的方法，其特征在于所述的催化剂的形态包括球型、柱状和三叶草型。

4.根据权利要求2所述的去除全氟碳化物气体的方法，其特征在于所述的催化剂其体积为1-1000mL。

5.如权利要求1～4任意一项所述的去除全氟碳化物气体的方法，其特征在于所述流量控制器(2)用阀门替代。