[发明专利]压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置

摘要

本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置。具体而言，提供了一种制造压电振动片的方法，其包括：外形形成步骤，其在晶圆处形成构架部S1并且在该构架部形成有待通过连接部(11a)连接到其上的多个压电板；电极形成步骤，其分别在该多个压电板处形成成对的激励电极和成对的安装电极，并且在一侧形成通过连接部而分别电连接到多个成对的安装电极(15)上的公共电极S2；频率调节步骤，其通过将驱动电压施加到公共电极和另一侧的安装电极(16)之间而调节压电板的频率；以及切割步骤，其使该多个压电板分成片段。

主权项

1. 一种制造多个压电振动片的方法，所述多个压电振动片均具有压电板，形成在所述压电板的外表面上以用于当对其施加预定驱动电压时使所述压电板振动的一对激励电极，以及形成在所述压电板的底端侧上并且使用由压电材料制成的晶圆同时分别电连接到所述一对激励电极上的一对安装电极，所述方法包括：外形形成步骤，其通过利用光刻技术刻蚀所述晶圆而形成构架部并且使多个所述压电板通过连接部以将所述压电板的底端侧引导至所述构架部的状态而以悬臂形状形成到所述构架部上，电极形成步骤，其通过将电极膜图案化到所述晶圆上而分别将成对的激励电极和成对的安装电极形成到多个所述压电板上并且形成通过所述构架部上的连接部而在一侧分别电连接到多个所述安装电极上的公共电极；频率调节步骤，其通过在所述公共电极和另一侧上的所述安装电极之间施加驱动电压来调节所述压电板的频率同时使所述压电板振动；和切割步骤，其通过切割所述连接部来使多个所述压电板形成片段。