[发明专利]探针单元及检查装置有效
| 申请号： | 200910007271.9 | 申请日： | 2009-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN101509937A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 奈良冈修治;山内和弘 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种与最佳阻抗特性相匹配，保持高检查精度的探针单元及检查装置。该探针单元包括：探针组装体，具有与检查对象板相接触而传输检查信号的探针；连接电缆部，电连接上述探针侧和外部装置侧；上述连接电缆部具有传输伴随着检查所产生的电信号的FPC电缆，该FPC电缆包括：传输检查信号的多条信号线；在一侧面上形成该信号线的FPC基板；形成在该FPC基板的另侧个面上的接地层；形成该接地层的一部分，并插入到上述FPC基板的一侧面上的多条上述信号线之间的线形的接地线。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 单元 检查 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种探针单元，其特征在于，包括：探针组装体，具有与检查对象板相接触而传输检查信号的探针；连接电缆部，电连接上述探针侧和外部装置侧；上述连接电缆部具有传输伴随着检查所产生的电信号的FPC电缆，该FPC电缆包括：传输检查信号的多条信号线；在一侧面上形成该信号线的FPC基板；形成在该FPC基板的另侧个面上的接地层；形成该接地层的一部分，并插入到上述FPC基板的一侧面上的多条上述信号线之间的线形的接地线。
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