[发明专利]玻璃掩模和掩模保持器的位置对准装置无效
| 申请号： | 200910007136.4 | 申请日： | 2009-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN101533225A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 目黑崇 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿迪泰克工程 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可高精度地进行玻璃掩模和掩模保持器的位置对准的玻璃掩模和掩模保持器的位置对准装置。将装有玻璃掩模(50)的掩模保持器(51)装入到基座(1)上，利用固定气缸(12、13)使掩模保持器(51)压紧X基准位置片(10)和Y基准位置片(11)来固定，进行掩模保持器(51)的定位，之后使升降器(21)上升，使用吸附垫(23)将玻璃掩模(50)吸附固定，根据从CCD相机(18)发送来的图像，使对准台(2)移动来使掩模标记(60)和基准标记61匹配。匹配后，使用掩模保持器(51)将玻璃掩模(50)固定，解除掩模保持器(51)的固定，送到下一工序。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 保持 位置 对准 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种玻璃掩模和掩模保持器的位置对准装置，其特征在于，该位置对准装置具有：基座，其将支撑玻璃掩模的掩模保持器保持在规定位置；基准标记，其设在该基座上，与所述保持的掩模保持器具有规定的位置关系；对准台，其将所述玻璃掩模保持成至少可朝xy方向和上下方向移动；位置对准用的掩模标记，其设在所述玻璃掩模上；定位装置，其根据所述掩模标记和所述基准标记，使所述玻璃掩模移动来定位在针对掩模保持器的预先决定的规定位置上；以及将由所述定位装置所定位的玻璃掩模固定在掩模保持器上的装置。
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