[发明专利]缺陷检查装置无效
| 申请号： | 200910000618.7 | 申请日： | 2009-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN101776614A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王正宇;萧贤德;田孝通 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 高凤荣 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种缺陷检查装置，包括：一取像装置，是用以撷取一待测物件的影像；一第一光源装置，用以发射一主要光束；该主要光束是与该待测物件呈第一预定角度，且该第一预定角度的范围为60度至90度；至少一第二光源装置，用以发射一辅助光束；该辅助光束是与该待测物件呈一第二预定角度，且该第二预定角度的范围为0度至30度；其中主要光束为一同轴光源或一斜向入射光源。本发明具有检出率高及成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种缺陷检查装置，其特征在于，包括：一取像装置，是用以撷取一待测物件的影像；一第一光源装置，用以发射一主要光束；该主要光束是与该待测物件呈第一预定角度，且该第一预定角度的范围为60度至90度；至少一第二光源装置，用以发射一辅助光束；该辅助光束是与该待测物件呈一第二预定角度，且该第二预定角度的范围为0度至30度。
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