[其他]用于控制电子电路的制造过程的系统有效
| 申请号： | 200890100086.3 | 申请日： | 2008-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN202189297U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | R·阿米特 | 申请（专利权）人： | 康代有限公司 |
| 主分类号： | G06F1/12 | 分类号： | G06F1/12;G06F12/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘瑜;王英 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于控制电子电路的制造过程的系统，所述系统包括：存储单元，其适用于存储电子电路的层的图像信息；处理器，其适用于计算在预期要相互对齐的电子电路的层之间的至少一个层不对齐；一个或多个自动光学检查系统，其适用于获得图像数据；一个或多个直接成像设备，其适用于将光阻材料曝光到辐射，以提供图案；以及一个或多个另外的制造工具，其适用于显影和蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 电子电路 制造 过程 系统 | ||
【主权项】：
用于控制电子电路的制造过程的系统，所述系统包括：存储单元，其适用于存储电子电路的层的图像信息；处理器，其适用于计算在预期要相互对齐的电子电路的层之间的至少一个层不对齐；一个或多个自动光学检查系统，其适用于获得图像数据；一个或多个直接成像设备，其适用于将光阻材料曝光到辐射，以提供图案；以及一个或多个另外的制造工具，其适用于显影和蚀刻。
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