[发明专利]振动微机械角速度传感器有效
| 申请号： | 200880109941.1 | 申请日： | 2008-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101815949A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 彼得里·克莱默提;凯萨·内拉;安蒂·利普萨内恩;安斯·布卢姆奎斯特;阿尔蒂·托尔克里 | 申请（专利权）人： | VTI技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P3/02 | 分类号： | G01P3/02;G01P15/097;G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 褚海英;武玉琴 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器中，质量块借助于非对称的弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)支撑于传感器元件的框架处，以此方式，由弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)传递的从一种运动模式到另一种运动模式的耦合使得由于弹性结构中或其支撑部中的偏斜造成的不理想性而导致的耦合消除或减少。特别是在用于角速度传感器的小型振动微机械方案中，本发明的角速度传感器结构能够以良好的性能实现可靠测量。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 微机 角速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种振动微机械角速度传感器，其包括至少一个测震质量块和相关联的活动电极，所述质量块具有必须被激发的主运动，并且不仅具有所述主运动，还具有与基本垂直于所述主运动的一个或多个检测轴相关的至少一个自由度，并且所述一个或多个质量块借助于弹性结构支撑于所述传感器元件的框架处，其特征在于，所述弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)是非对称的，从而由所述弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)传递的从一种运动模式到另一种运动模式的耦合使得由于所述弹性结构或所述弹性结构的支撑部中的偏斜造成的不理想性而导致的耦合消除或减少。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于VTI技术有限公司，未经VTI技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880109941.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于累计鉴定的系统和方法
- 下一篇：包含微孔聚合物的有机化学传感器及使用方法
