[发明专利]振动微机械角速度传感器

权利要求书

1.一种振动微机械角速度传感器，其包括至少一个测震质量块和相 关联的活动电极，所述质量块具有必须被激发的主运动，并且不仅具有 所述主运动，还具有与基本垂直于所述主运动的一个或多个检测轴相关 的至少一个自由度，并且所述至少一个质量块借助于弹性结构支撑于所 述传感器的框架处，其特征在于，所述弹性结构(1、2、3、4、22、24) 是非对称的，从而由所述弹性结构(1、2、3、4、22、24)传递的从一 种运动模式到另一种运动模式的耦合使得由于所述弹性结构或所述弹性 结构的支撑部中的偏斜造成的不理想性而导致的耦合消除或减少。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性结 构(1)的一个角被蚀刻掉。

3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，在所述弹性 结构(2)中蚀刻有一个或多个补偿槽。

4.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，在所述弹性 结构(3)中蚀刻有一个或多个补偿腔(14、15、18～21)。

5.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，在所述弹性 结构(4)的至少一个附着点(5、6)中蚀刻有一个或多个补偿槽或补偿 腔(14、15、18～21)。

6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，通过恰当地 设计所述补偿槽或补偿腔(14、15、18～(21)的尺寸，以使所述补偿槽 或补偿腔有效地校正偏斜的弹性结构(4)的端部。

7.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性结 构(22)的一个边缘是锯齿状的(23)。

8.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性结 构(24)的两个边缘都是锯齿状的(25、26)。

9.根据权利要求7或8所述的角速度传感器，其特征在于，通过将 所述锯齿状(23、25、26)的尺寸恰当地设计为单侧的或非对称的，使 得所述锯齿状(23、25、26)将所述弹性结构(22、24)的弯曲轴扭转。

10.根据前述权利要求1至8的任何一项所述的角速度传感器，其 特征在于，通过非对称地设计所述弹性结构(1、2、3、4、22、24)， 使得由所述弹性结构(1、2、3、4、22、24)传递的从一种运动模式到 另一种运动模式的所述耦合使得由于DRIE蚀刻处理的槽相对于盘的法 线的倾斜造成的所述不理想性而导致的所述耦合消除或减少。

11.根据权利要求9所述的角速度传感器，其特征在于，通过非对 称地设计所述弹性结构(1、2、3、4、22、24)，使得由所述弹性结构 (1、2、3、4、22、24)传递的从一种运动模式到另一种运动模式的所 述耦合使得由于DRIE蚀刻处理的槽相对于盘的法线的倾斜造成的所述 不理想性而导致的所述耦合消除或减少。

12.一种借助于微机械盘结构的振动微机械角速度传感器的制造方 法，所述角速度传感器包括至少一个测震质量块和相关联的活动电极， 所述质量块具有必须被激发的主运动，并且不仅具有所述主运动，还具 有与基本垂直于所述主运动的一个或多个检测轴有关的至少一个自由 度，并且所述至少一个质量块借助于弹性结构支撑于所述传感器的框架 处，其特征在于，通过蚀刻将所述角速度传感器的所述弹性结构(1、2、 3、4、22、24)制造成非对称的。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，通过设计蚀刻掩模， 以使所述蚀刻掩模补偿在所述盘上发生的由所述制造方法而导致的不理 想性。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，在所述制造 中使用DRIE蚀刻技术。

15.根据前述权利要求12至13中的任何一项所述的方法，其特征 在于，在制造中利用了所述DRIE蚀刻处理的不理想性。