[发明专利]把结构结合到透明工件表面的方法有效
申请号: | 200880017177.5 | 申请日: | 2008-04-10 |
公开(公告)号: | CN101678502A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | C·施塔尔 | 申请(专利权)人: | 松下电工欧洲股份公司 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/18 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 赵 科 |
地址: | 德国霍*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种把结构(M)结合到在某一波长范围内透明的工件(W)表面(O)的方法。为此,使得待结构化的表面(O)与含有目标材料的目标表面(3)接触,借助波长在某一波长范围内的激光束(2),将能量引入透过工件(W)引入到待结构化的表面(O)和目标表面(3)的边界区域(G)的至少一个位置上,从而将目标材料沉积在待结构化的表面中和/或上的各个位置处。为此,使用脉冲重复频率大于10kHz的脉冲激光束(L),该激光束被聚焦使得焦点定位在目标表面之上或之下,其中激光束焦点处的功率密度大于2000W/mm2。本发明还涉及一种装置(1),其把结构(M)引入在某一波长范围内透明的工件(W)的表面(O)。 | ||
搜索关键词: | 结构 结合 透明 工件 表面 方法 | ||
【主权项】:
1、一种用于将结构(M)结合到在特定波长范围内透明的工件(W)的表面(O)中的方法,其中,将待结构化的表面(O)与包含目标材料的目标表面(3)接触,并且其中,借助于波长处在所述特定波长范围内的激光束(2),能量被引导穿过所述工件(W)至少在一个位置处到达所述工件(W)的待结构化的表面(O)与所述目标表面(3)的边界区域(G)中,从而在相关位置处,目标材料被沉积在待结构化的表面(O)中,其特征在于:使用脉冲重复频率大于10kHz的脉冲激光束,其中所述脉冲激光束被聚焦,使得焦点被定位在所述目标表面之上或之下,其中所述激光束在焦点处的功率密度大于2000W/mm2。
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