[发明专利]IC测试方法和设备无效
| 申请号： | 200880014544.6 | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101675349A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 阿米尔·齐亚约;曼纽尔·何塞·巴拉甘·阿西安;何塞·德耶稣·皮内达·德干维兹 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/3187 | 分类号： | G01R31/3187 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 源;张天舒 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种集成电路包括被测器件和嵌入式测试电路。嵌入式测试电路包括多个工艺监测传感器(14)；门限电路(22)，用于将传感器信号与具有上限和下限的门限窗口比较；以及数字接口(17)，用于输出门限电路信号。工艺监测传感器(14)包括基于被测器件的电路元件的电路。这种布置能使用与被测器件嵌在一起的工艺监测传感器来监测电路元件性能，如晶体管特性，从而向传感器施加与向被测器件所施加的相同的工艺参数变化。传感器优选地与被测器件的物理布局匹配。 | ||
| 搜索关键词： | ic 测试 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路，包括被测器件和嵌入式测试电路，其中嵌入式测试电路包括：多个工艺监测传感器(14)；门限电路(22)，用于将传感器信号与具有上限和下限的门限窗口比较；数字接口(17)，用于输出门限电路信号，其中，工艺监测传感器(14)包括基于被测器件的电路元件的电路。
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