[发明专利]IC测试方法和设备

权利要求书

1.一种集成电路，包括被测器件和嵌入式测试电路，其中嵌入式测试电路包括：

多个工艺监测传感器(14)；

门限电路(22)，用于将传感器信号与具有上限和下限的门限窗口比较；

数字接口(17)，用于输出门限电路信号，

其中，工艺监测传感器(14)包括基于被测器件的电路元件的电路。

2.如权利要求1所述的电路，还包括至少一个放大器(20)，用于对传感器信号进行放大。

3.如权利要求1或2所述的电路，其中传感器(14)被嵌入到被测器件的集成结构中和/或设置在被测器件外设的周围。

4.如前述任一权利要求所述的电路，其中传感器(14)用来监测工艺参数变化。

5.如前述任一权利要求所述的电路，其中嵌入式测试电路包括数字控制逻辑，作为与外部测试电路的接口，所述数字控制逻辑访问嵌入式测试电路的扫描链(18)。

6.如前述任一权利要求所述的电路，其中工艺监测传感器(14)独立于被测器件而被驱动。

7.如权利要求6所述的电路，其中工艺监测传感器(14)在功能上没有连接到被测器件。

8.如前述任一权利要求所述的电路，其中数字接口提供对门限电路信号的采样和数字化处理。

9.如前述任一包括用于对传感器信号进行放大的至少一个放大器(20)的权利要求所述的电路，其中工艺监测传感器(14)、至少一个放大器(20)以及门限电路(22)每一个都包括基于被测器件的电路元件的电路。

10.一种测试集成电路的方法，包括对与被测器件有关的嵌入式测试电路进行分析，其中嵌入式测试电路包括多个工艺监测传感器(14)，所述多个工艺监测传感器包括基于被测器件的电路元件的电路；门限电路(22)，用于将传感器信号与具有上限和下限的门限窗口比较；数字接口(17)，用于输出门限电路信号，

其中，所述方法包括使用独立于被测器件的操作的嵌入式测试传感器来监测工艺参数变化。