[发明专利]测量玻璃板中缺陷的装置无效
| 申请号： | 200880010234.7 | 申请日： | 2008-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101652625A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | P·R·勒布朗克 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生;周承泽 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种在生产环境中、以大部分测量装置运动最少的方式测量大型、非平坦、镜面薄板的形貌结构的方法。使用安装了万向架的反射元件操控短相干长度的探针束，使得该探针束基本垂直于基板的局部表面。将该探针束和参考束组合，使用产生的干涉图案来表征该局部表面上的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 玻璃板 缺陷 装置 | ||
【主权项】：
1.一种表征基板上的表面缺陷的方法，所述方法包括：提供相干辐射束；提供非平坦的镜面基板；将该辐射束分成探针束和参考束；用第一反射元件截取探针束，以辐照该基板上包含表面缺陷的局部表面，其中该局部表面相对于该探针束的纵轴倾斜；用第二反射元件截取并反射参考束；采集自该局部表面反射的探针束以及自该第二反射元件反射的参考束；将自该第二反射元件反射的参考束以及自该局部表面反射的探针束组合，从而形成由局部表面倾斜产生的第一组干涉条纹以及由表面缺陷产生的第二组干涉条纹；检测第一组和第二组干涉条纹；用第一反射元件操控探针束，使由局部表面倾斜产生的干涉条纹的数目最小；使用检测到的、由表面缺陷产生的干涉条纹表征该缺陷。
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