[发明专利]包括利用多反对称最优控制装置的流量比率控制器的气体输送方法和系统有效
| 申请号： | 200880005596.7 | 申请日： | 2008-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN101702940A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 丁军华;K·H·扎尔卡 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G05D11/13 | 分类号： | G05D11/13 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 邬少俊;王英 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 披露了一种用于气体供应系统的多反对称最优(MAO)控制算法，该气体供应系统包括用于将单个质量流量分到多个流动管线中的流量比率控制器。在MAO控制算法中，为每个流动管线装备流量传感器和阀，由SISO反馈控制器结合线性饱和器主动控制阀，以实现目标流量比率设置点。为了实现最优控制性能，这些SISO控制器和线性饱和器是基本相同的。据证实，每个阀控制命令都与所有其他阀控制命令成多反对称。因此，MAO控制算法确保在任何时刻都至少有一个阀处于可容许最大开放位置，在针对流量比率设置点的给定集的最大总阀流导方面实现最优解。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 利用 对称 最优 控制 装置 流量 比率 控制器 气体 输送 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种多通道气体输送系统，包括：主要通道；至少两个辅助通道；以及流量比率控制器，其耦合到所述主要通道和所述多个辅助通道，以便通过所述主要通道接收气体并控制通过每个所述辅助通道的气体流量相对于整个流量的比率。
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