[实用新型]300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统有效
| 申请号： | 200820234111.9 | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201350628Y | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 董金卫;曾艳丽;张芳;赛义德·赛迪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J3/00 | 分类号： | B25J3/00;B25J15/00;B25J18/00;B25J13/00;B25J19/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和5片叉，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在底座上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器控制连接。在5片叉上设有片叉间距调节部件。在单片叉上还设有FOUP中硅片状态检测传感器。本实用新型适用于立式氧化炉的硅片传送，自动化程度高，控制灵活，适用性广，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 300 mm 立式 氧化 硅片 传送 机械手 系统 | ||
【主权项】：
1、一种300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置(1)、取片叉(2)，其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉(2)设有单片叉(2.1)和5片叉(2.2)，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂(3)连接，机械臂设置在底座(4)上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器(5)控制连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京七星华创电子股份有限公司，未经北京七星华创电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820234111.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
