[实用新型]多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔

摘要

一种多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔，有进气口、出气口，底部设有出液口，淋洗塔内上方设有多层喷淋管，喷淋管上安有多个喷头，在喷头下方设有鲍尔环，喷淋管伸出淋洗塔，由圆管与液泵出口端连接，淋洗塔的出液口用圆管与液泵进水口端连接。本实用新型采用液泵8使四氯化硅液体强制循环，促进气液优质充分交换，使吸收效率提高50～70％。本实用新型与现常用的鼓泡淋洗法设备相比，体积缩小了近一半，为充分利用生产场地提供了有利条件。

主权项

1.一种多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔，由出气口(2)、进气口(3)、出液口(4)、喷淋管(5)、喷头(6)、鲍尔环(7)、液泵(8)组成，其特征是在淋洗塔(1)的顶部设有出气口(2)，下部侧面设有进气口(3)，底部设有出液口(4)，淋洗塔(1)内部上方设有多层喷淋管(5)，喷淋管(5)上安有喷头(6)，各层喷淋管(5)的喷头(6)下方设有鲍尔环(7)，喷淋管(5)伸出淋洗塔(1)与液泵(8)出口端圆管连接，液泵(8)的进口端与出液口(4)圆管连接。