[实用新型]多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔

说明书

技术领域

本实用新型属于化工行业的多晶硅生产过程中配套设备，即多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔。

背景技术

在多晶硅生产过程中，还原炉排出的尾气，含有较高的四氯化硅，而四氯化硅是合成有机硅的主要原料，如果将多晶硅生产干法的尾气直接排掉，则是一种浪费，因此在化工行业中采用了尾气回收四氯化硅的方法，现在常用的是鼓泡淋洗法，但这种方法仍存在着设备较大且回收率较低的不足，故需加以改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种回收效率高且设备小的多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔。

本实用新型的技术方案如图1所示，淋洗塔1顶部设有出气口2，下部侧面设有进气口3，底部设有出液口4，在淋洗塔1的内部上方设有多层喷淋管5，喷淋管5上安有螺旋喷头6，各层喷淋管5的喷头6下方，设有鲍尔环7，各喷淋管5伸出淋洗塔1与液泵8出口端用圆管连接，液泵8的进口端与出液口4用圆管连接。

本实用新型采用液泵8使四氯化硅液体在塔内进行强制循环，促进气液优质充分交换，这样能使塔的高度和直径缩小的情况下，吸收效率却提高了50～70％。

附图说明

图1多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔结构示意图；

图中：1-淋洗塔，2-出气口，3-进气口，4-出液口，5-喷淋管，6-喷头，7-鲍尔环，8-液泵。

具体实施方式

本实用新型按上述方案实施，喷淋管2设置3～5层，每根喷淋管上安有螺旋十字喷头4～6个，喷头安装的个数是根据塔的内径来决定的，各喷淋管下方设有鲍尔环层，层厚约250毫米，使气体与液体有充分的接触面，达到气液优质充分交换的目的，这样吸收效率便能大大提高。

本实用新型塔高约5米，直径约0.8米，较现常用的鼓泡淋洗法使用的设备缩小了近一半，为充分利用生产场地提供了有利条件。