[实用新型]一种用于衬底化学机械抛光装置的载具头及其柔性膜无效
| 申请号： | 200820184659.7 | 申请日： | 2006-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN201371411Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈宏清;欧俊宏;史蒂文·M·祖尼加 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵 飞;南 霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于衬底化学机械抛光装置的载具头及其柔性膜，所述柔性膜具有中心部分、周边部分和至少一个薄片，中心部分具有提供衬底支撑表面的外表面，周边部分用于将中心部分连接到载具头的基座，薄片从中心部分的内表面延伸。薄片包括横向延伸的第一部分和垂直延伸的第二部分，所述第二部分将横向延伸的第一部分连接到中心部分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 衬底 化学 机械抛光 装置 载具头 及其 柔性 | ||
【主权项】：
1.一种用于衬底化学机械抛光装置载具头的柔性膜，其特征在于，所述膜包括：中心部分，具有提供衬底支撑表面的外表面；周边部分，用于将所述中心部分连接到所述载具头的基座；以及至少一个薄片，从所述中心部分的内表面延伸，所述薄片包括横向延伸的第一部分和垂直延伸的第二部分，所述第二部分将所述横向延伸的第一部分连接到所述中心部分，纵向延伸的所述第二部分中具有基本均匀厚度的一部分比横向延伸的所述第一部分的厚度厚。
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