[实用新型]IC塑封模内压力监测控制产品质量的工艺监控设备无效
| 申请号： | 200820156037.3 | 申请日： | 2008-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN201307237Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 曹阳根;张恩霞 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海三方专利事务所 | 代理人： | 吴干权 |
| 地址： | 201620*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体器件领域，具体地是一种IC塑封模内压力监测控制产品质量的工艺监控设备，数据记录控制系统的输出端连接数据处理系统，数据处理系统的输出端分别连接压力控制器、监视显示屏，其特征在于：在IC塑封模具的每个型腔内设置压力传感器，压力传感器的输出端连接工艺监控装置；本实用新型有益效果：将高精度压力传感器技术与计算机技术结合在一起，将其应用到IC塑封工艺中直接监测每个塑封型腔中压力的变化，弥补了以往只能通过控制液压系统压力来间接控制型腔压力的不足，可以大大改善塑封工艺控制的精度，降低众多型腔间熔料压力的不平衡程度，减小对金丝和芯片的冲击，减少产品内应力，提高产品使用寿命和合格率。 | ||
| 搜索关键词： | ic 塑封 压力 监测 控制 产品质量 工艺 监控 设备 | ||
【主权项】：
1、一种用于IC塑封模内压力监测控制产品质量的工艺监控设备，包括IC塑封模具以及工艺监控装置，所述工艺监控装置包括压力控制器、数据记录控制系统、数据处理系统、监视显示屏，数据记录控制系统的输出端连接数据处理系统，数据处理系统的输出端分别连接压力控制器、监视显示屏，其特征在于：在IC塑封模具的每个型腔内设置压力传感器，压力传感器的输出端连接工艺监控装置。
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