[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 200820146539.8 | 申请日： | 2008-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN201274552Y | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 孟珍奎;吴志江 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型有关一种MEMS麦克风，其包括：底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其中，上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁凹陷有第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通。可提高MEMS麦克风的灵敏度以及改善频响特性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
1. 一种MEMS麦克风，其包括：底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，其中，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其特征在于：上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁凹陷有第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通。
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