[实用新型]一种晶圆表面氧化膜去除装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆表面氧化膜去除装置，它包括：一个工作风厨，一个位于工作风厨内的氢氟酸气体发生器，氢氟酸气体发生器接氢氟酸气体均压器，气体均压器出口接一个硅片反应室，反应室为中空的腔室结构，一侧连接排风管道，反应室内有装片用片槽，片槽下方有保护气腔，用于装卸硅片真空吸盘，还包括保护气体发生器，以及氢氟酸气体输运管道及阀门、保护气体输送管道及阀门、输送干燥气的管道和阀门。腔室内通氮气保护，硅片背面不受氢氟酸气体腐蚀，硅片正面与氢氟酸气体反应去除表面氧化膜。本实用新型的优点是：装置结构简单，操作方便，工作效率高。

主权项

1、一种晶圆表面氧化膜去除装置，其特征在于：它包括：一个工作风厨，一个位于工作风厨内的氢氟酸气体发生器(6)，氢氟酸气体发生器接氢氟酸气体均压器(7)，气体均压器出口接一个硅片反应室(8)，反应室为中空的腔室结构，一侧连接排风管道，反应室内有装片用片槽(9)，片槽下方有保护气腔，用于装卸硅片真空吸盘，还包括保护气体发生器(5)，以及氢氟酸气体输运管道及阀门(2)、保护气体输送管道及阀门(1)、输送干燥气的管道和阀门(3)。