[实用新型]一种刷抛光大盘用的刷子有效
| 申请号： | 200820123545.1 | 申请日： | 2008-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN201287294Y | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 库黎明;闫志瑞;索思卓;黄军辉;葛钟;陈海滨;张国栋;盛方毓 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/047;H01L21/304;B24B55/02 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种刷抛光大盘用的刷子，它包括：刷体、刷体的上部为机械手部分，刷体下部为一盘，盘的端面上置有刷毛，盘的周边设有高压喷嘴，刷体内有一供进高压纯净水的水管，高压喷嘴与水管连通。本实用新型的优点是该装置结构紧凑，操作简便，可由机器程序自动控制高压水冲洗时间和时机。既可以消除抛光后大盘的釉化现象，又可以有效地去除抛光布表面绒毛层内的杂质，从而提高加工后的产品的表面质量，提高硅片的制备性能与成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 大盘 刷子 | ||
【主权项】：
1、一种刷抛光大盘用的刷子，它包括：刷体、刷体的上部为机械手部分，刷体下部为一盘，盘的端面上置有刷毛，其特征在于：盘的周边设有高压喷嘴，刷体内有一供进高压纯净水的水管，高压喷嘴与水管连通。
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