[实用新型]防止光刻胶泄漏的装置和光刻胶输出装置有效
| 申请号： | 200820123013.8 | 申请日： | 2008-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN201266302Y | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 任亚然 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 琦;王诚华 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止光刻胶泄漏的装置、以及一种包括防止光刻胶泄露装置的光刻胶输出装置。本实用新型中防止光刻胶泄露的装置包括：废液导管、储液容器、以及抽气装置，其中，所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的光刻胶导管导通；且，所述储液容器还具有一与所述抽气装置的入气口导通的开口。这样，当塑料包装袋内为空时，将光刻胶输出装置的光刻胶导管、氮气导管连同瓶盖一起从塑料包装袋为空的储液瓶中拔出，同时开启抽气装置，使得残留在光刻胶导管内壁的液态光刻胶在气流的带动下，依次经光刻胶导管和废液导管流入至储液容器内部，从而不会自光刻胶导管的输入端泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 光刻 泄漏 装置 输出 | ||
【主权项】：
1、一种防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，该装置包括：第一导管、储液容器、以及抽气装置，其中，所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的第二导管导通；且，所述储液容器还具有一开口，该开口与所述抽气装置的入气口导通、并位于能够避免所述储液容器内部的液体被抽入至所述抽气装置的预设第一位置。
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