[实用新型]防止光刻胶泄漏的装置和光刻胶输出装置

权利要求书

1、一种防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，该装置包括：第一导管、储液容器、以及抽气装置，其中，

所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的第二导管导通；

且，所述储液容器还具有一开口，该开口与所述抽气装置的入气口导通、并位于能够避免所述储液容器内部的液体被抽入至所述抽气装置的预设第一位置。

2、如权利要求1所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括具有一路输入和两路输出的三通；

所述第一导管的所述另一端与所述三通的一路输出相连；

所述第二导管包括前段和后段，所述前段和后段分别与所述三通的一路输入和另一路输出相连。

3、如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所述光刻胶输出装置还具有一储液瓶，该储液瓶的瓶口罩有一瓶盖；

且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括装设于所述瓶盖朝向储液瓶瓶口一侧的光传感器，且所述光传感器表示感测到光亮的信号输出端与所述抽气装置的启动控制端电连接。

4、如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所述第一导管为半透明或透明材料的塑料软管；

且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括气泡传感器，所述气泡传感器套接于所述第一导管外壁，且所述气泡传感器表示无气泡的信号输出端与所述抽气装置的关闭控制端电连接。

5、如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所述储液容器进一步设有排放其内部液体的阀门，该阀门与废液排放管道导通。

6、如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所述预设第一位置为所述储液容器的顶部或侧壁的上部。

7、一种光刻胶输出装置，包括：第三导管、第四导管、储液瓶、瓶盖、以及塑料包装袋，其中，

所述塑料包装袋内收容有光刻胶，且所述塑料包装袋放置于所述储液瓶内；

所述瓶盖罩在储液瓶的瓶口，所述第三导管的输入端穿过所述瓶盖伸入至所述塑料包装袋内，所述第四导管的输出端穿过所述瓶盖伸入在所述储液瓶内、所述塑料包装袋外；

其特征在于，该装置还包括：第五导管、储液容器、以及抽气装置，其中，

所述储液容器的入口与所述第五导管的一端导通，所述第五导管的另一端与所述第三导管导通；

且，所述储液容器还具有一开口，该开口与所述抽气装置的入气口导通、并位于能够避免所述储液容器内部的液体被抽入至所述抽气装置的预设第二位置。

8、如权利要求7所述的装置，其特征在于，该装置进一步包括具有一路输入和两路输出的三通；

所述第三导管包括前段和后段，所述前段和后段分别与所述三通的一路输入和一路输出相连；

所述第五导管的所述另一端与所述三通的另一路输出相连。

9、如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，该装置进一步包括装设于所述瓶盖朝向储液瓶瓶口一侧的光传感器，所述光传感器表示感测到光亮的信号输出端与所述抽气装置的启动控制端电连接。

10、如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述第五导管为半透明或透明材料的塑料软管；

且，所述装置进一步包括气泡传感器，所述气泡传感器套接于所述第五导管外壁，且所述气泡传感器表示无气泡的信号输出端与所述抽气装置的关闭控制端电连接。

11、如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述储液容器进一步设有排放其内部液体的阀门，该阀门与废液排放管道导通。

12、如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述预设第二位置为所述储液容器的顶部或侧壁的上部。