[实用新型]防止光刻胶泄漏的装置和光刻胶输出装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液体防泄漏技术，特别涉及一种防止光刻胶泄漏的装置、以及一种光刻胶输出装置。

背景技术

光刻胶是半导体制造过程中必不可少的材料，将光刻胶旋涂在半导体基片，然后通过光刻版对光刻胶选择性曝光，再通过显影、清洗去除被感光部分的光刻胶，即可使得旋涂的光刻胶中形成与光刻版中图案对应的沟槽。后续的离子注入、刻蚀等工艺，都是基于光刻胶形成的沟槽来实现的。

现有的光刻胶旋涂工艺是在流水线中完成的，由如图1所示的光刻胶输出装置将液态光刻胶输出至旋涂机(Coater)，再由旋涂机将光刻胶连续旋涂在流水线中传递的各半导体基片表面。

参见图1，现有光刻胶输出装置包括：光刻胶导管11、氮气导管12、储液瓶13、瓶盖14、以及塑料包装袋15。其中，塑料包装袋15内收容有光刻胶，且塑料包装袋15放置于储液瓶13内；瓶盖14罩在储液瓶13的瓶口，光刻胶导管11的输入端在对应塑料包装袋15入口的位置穿过瓶盖14伸入至储液瓶13中的塑料包装袋15内、直至塑料包装袋15的底部，氮气导管12的输出端则在对应塑料包装袋15入口之外的其他任意位置穿过瓶盖14伸入在储液瓶13内、但位于塑料包装袋15外。

这样，将大量氮气从氮气导管12充入至储液瓶13内，充入至储液瓶13内的大量氮气自塑料包装袋15的外部挤压塑料包装袋15，即可使得塑料包装袋15内部的光刻胶从自光刻胶导管11的输入端输出至光刻胶导管11内、并最终输出至旋涂机(图1中未示出)。

当塑料包装袋15内部的光刻胶全部输出、即塑料包装袋15内变为空时，无论如何对其挤压都不会再有光刻胶输出至旋涂机，此时，流水线就会报警。在流水线报警时，就需要流水线操作员手工更换储液瓶13，具体操作为：将光刻胶导管11、氮气导管12连同瓶盖14一起，从塑料包装袋15为空的储液瓶13中拔出，再插入至内部塑料包装袋装满光刻胶的另一个储液瓶。其中，每一储液瓶在使用之前其瓶口都由遮光薄膜密封，而光刻胶导管11和氮气导管12位于瓶盖14下方的部分均为硬塑料管，可直接刺破遮光薄膜分别插入在塑料包装袋之内和之外。

在上述更换储液瓶13的过程中，参见图2，由于光刻胶导管11被拔出，因而残留在光刻胶导管11内的液态光刻胶会从光刻胶导管11的输入端泄漏。而光刻胶是一种对人体有毒害的物质，泄漏出的光刻胶会对流水线操作员的健康造成损害、且污染环境。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种防止光刻胶泄漏的装置、以及一种光刻胶输出装置，能够防止光刻胶输出装置更换储液瓶时泄漏光刻胶。

本实用新型提供的一种防止光刻胶泄漏的装置，包括：第一导管、储液容器、以及抽气装置，其中，

所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的第二导管导通；

且，所述储液容器还具有一开口，该开口与所述抽气装置的入气口导通、并位于能够避免所述储液容器内部的液体被抽入至所述抽气装置的预设第一位置。

所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括具有一路输入和两路输出的三通；

所述第一导管的所述另一端与所述三通的一路输出相连；

所述第二导管包括前段和后段，所述前段和后段分别与所述三通的一路输入和另一路输出相连。

所述光刻胶输出装置还具有一储液瓶，该储液瓶的瓶口罩有一瓶盖；

且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括装设于所述瓶盖朝向储液瓶瓶口一侧的光传感器，且所述光传感器表示感测到光亮的信号输出端与所述抽气装置的启动控制端电连接。

所述第一导管为半透明或透明材料的塑料软管；

且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括气泡传感器，所述气泡传感器套接于所述第一导管外壁，且所述气泡传感器表示无气泡的信号输出端与所述抽气装置的关闭控制端电连接。

所述储液容器进一步设有排放其内部液体的阀门，该阀门与废液排放管道导通。

所述预设第一位置为所述储液容器的顶部或侧壁的上部。

本实用新型提供的一种光刻胶输出装置，包括：第三导管、第四导管、储液瓶、瓶盖、以及塑料包装袋，其中，

所述塑料包装袋内收容有光刻胶，且所述塑料包装袋放置于所述储液瓶内；

所述瓶盖罩在储液瓶的瓶口，所述第三导管的输入端穿过所述瓶盖伸入至所述塑料包装袋内，所述第四导管的输出端穿过所述瓶盖伸入在所述储液瓶内、所述塑料包装袋外；

该装置还包括：第五导管、储液容器、以及抽气装置，其中，