[实用新型]一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器无效
| 申请号： | 200820108886.1 | 申请日： | 2008-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN201224757Y | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 连贵君;熊光成 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，属于真空设备领域。该加热器包括两块耐高温不锈钢板和一根超细电阻加热丝，两块耐高温不锈钢板上下叠放，固定在一起，所述超细电阻加热丝均匀排放在上述耐高温不锈钢板之间的缝隙里。本实用新型克服了普通加热器的高温状态有挥发物的缺陷，制备高品质薄膜的成膜效率高。且输入电功率低，升温速度快，耐用，寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 氧化物 薄膜 金属 加热器 | ||
【主权项】：
1、一种用于制备氧化物薄膜或金属薄膜的加热器，其特征在于，包括两块耐高温不锈钢板和一根超细电阻加热丝，两块耐高温不锈钢板上下叠放，固定在一起，所述超细电阻加热丝均匀排放在上述耐高温不锈钢板之间的缝隙里。
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