[实用新型]一种太阳能选择性吸收涂层无效
| 申请号： | 200820079950.8 | 申请日： | 2008-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN201218622Y | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 张秀廷;范兵;李然;赵旭;卢铁军;陈步亮 | 申请（专利权）人： | 北京天瑞星真空技术开发有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/50 | 分类号： | F24J2/50 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能选择性吸收涂层，该涂层在吸热体基材表面由底部到顶部形成三层膜结构，第一层是红外反射层，由金属Nb膜构成，厚度在140～250nm；第二层是吸收层，成分上由Nb与Al2O3的混合物组成，结构上由金属体积百分含量不同的两个亚层构成，第一亚层Nb的厚度为45～75nm，第二亚层Nb的厚度为50～70nm；第三层为减反射层，由Al2O3膜构成，厚度为65～85nm。所述涂层的第一层红外反射层采用Nb靶直流磁控溅射方法制备，第二层吸收层采用Nb靶直流反应磁控溅射技术和Al靶中频孪生磁控溅射技术制备，反应气体为O2；第三层减反射层采用Al2O3靶中频孪生溅射技术，以Ar气作为溅射气体制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 选择性 吸收 涂层 | ||
【主权项】：
1、一种太阳能选择性吸收涂层，基体为不锈钢材料，其特征在于：所述的选择性吸收涂层由基体开始依次为红外反射层、吸收层和减反射层；所述的红外反射层厚度在140～250nm，采用Nb靶直流磁控溅射方法制备在基体表面；吸收层厚度为95～145nm，采用Nb靶直流反应磁控溅射技术和Al靶中频孪生磁控溅射技术制备在红外反射层表面；减反射层厚度为65～85nm，采用Al2O3靶中频孪生溅射技术制备在吸收层表面；所述的吸收层包括两个亚层结构，第一亚层在红外反射层上制备，厚度为45～75nm，第二亚层在第一亚层上制备厚度为50～70nm。
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