[实用新型]去除玻璃基板边缘光刻胶的装置有效
| 申请号: | 200820079917.5 | 申请日: | 2008-04-11 |
| 公开(公告)号: | CN201188173Y | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
| 发明(设计)人: | 苏顺康;黄福林 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/26 | 分类号: | G03F7/26;B08B11/04;B08B3/04 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100176北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,属于液晶显示技术领域。所述装置,包括清洗喷嘴,所述清洗喷嘴的内顶面和内底面上分别对应设置有柔性清洗块;所述柔性清洗块上设有清洗液通孔,所述清洗液通孔与所述清洗喷嘴内的清洗液通道相连通;所述柔性清洗块上还设有负压孔,所述负压孔与所述清洗喷嘴内的负压通道相连通。本实用新型所述的装置,能够有效的解决由于清洗液溅射而引起的产品不良的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 去除 玻璃 边缘 光刻 装置 | ||
【主权项】:
1、一种去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,包括清洗喷嘴,其特征在于,所述清洗喷嘴的内顶面和内底面上分别对应设置有柔性清洗块;所述柔性清洗块上设有清洗液通孔,所述清洗液通孔与所述清洗喷嘴内的清洗液通道相连通;所述柔性清洗块上还设有负压孔,所述负压孔与所述清洗喷嘴内的负压通道相连通。
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