[实用新型]去除玻璃基板边缘光刻胶的装置有效
| 申请号： | 200820079917.5 | 申请日： | 2008-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN201188173Y | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 苏顺康;黄福林 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;B08B11/04;B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去除 玻璃 边缘 光刻 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种去除玻璃基板边缘光刻胶的装置，包括清洗喷嘴，其特征在于，所述清洗喷嘴的内顶面和内底面上分别对应设置有柔性清洗块；
所述柔性清洗块上设有清洗液通孔，所述清洗液通孔与所述清洗喷嘴内的清洗液通道相连通；
所述柔性清洗块上还设有负压孔，所述负压孔与所述清洗喷嘴内的负压通道相连通。
2、根据权利要求1所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置，其特征在于，
所述柔性清洗块为具有弹性的多孔状布。
3、根据权利要求2所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置，其特征在于，
所述柔性清洗块上的清洗液通孔为均匀分布的若干微孔。
4、根据权利要求1、2或3所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置，其特征在于，所述柔性清洗块上的负压孔布置在所述清洗液通孔周围。
5、根据权利要求4所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置，其特征在于，
所述清洗喷嘴内的负压通道为真空管道。
6、根据权利要求5所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置，其特征在于，
所述清洗喷嘴呈鸭嘴型。
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