[实用新型]一种晶圆盒存放架有效
| 申请号： | 200820059913.0 | 申请日： | 2008-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN201249995Y | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 黄臣;王明珠;康盛;赵国庆 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/02 | 分类号： | B65G1/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆盒存放架，它包括若干存放层，围杆、栏杆和隔杆，若干存放层之间通过所述围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，栏杆和隔杆安装在存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，两个子存放部拼接成一存放层，两个折叠杆平行安装在所述两个子存放部拼接的位置；围杆为圆筒状，分若干节子围杆，子围杆节与节连接成围杆，子围杆的直径节节向上递减。本实用新型可将存放层的两个子存放部折叠起，缩小存放架的存储容量；围杆可收缩成一子围杆的高度实现存放架的完全折叠。该晶圆盒存放架的灵活性大可有效解决传统存放架存在的灵活性低和占用空间大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 存放 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆盒存放架，其特征在于，它包括多个存放层，围杆、栏杆和隔杆，所述若干存放层之间通过所述围杆连接；每个存放层通过围杆均安装有栏杆和隔杆，所述栏杆和隔杆安装在所述存放层的三条边上；每层存放层包括两个子存放部和两个折叠杆，所述两个子存放部拼接成一存放层，所述两个折叠杆平行安装在所述两个子存放部拼接的位置；所述围杆为圆筒状，分若干节子围杆，所述子围杆节与节连接成围杆，所述子围杆的直径节节向上递减。
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