[实用新型]蒸镀设备干燥水导入系统有效
| 申请号： | 200820054645.3 | 申请日： | 2008-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN201195745Y | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 盛庭 | 申请（专利权）人： | 上海松下等离子显示器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人： | 黄志达 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸镀设备干燥水导入系统，包括蒸镀腔室、一纯水气化单元、一纯水供给单元，纯水供给单元通过导管与纯水气化单元相连，纯水气化单元通过管道与蒸镀腔室相连，管道上安装有流量控制器。本实用新型既可通过降低高温蒸镀时释放水份以减少氢气含量的增大，也能够在刚投入制品开始较干燥的时候增加水份从而使得氢气含量达到工艺范围内立刻进行生产，可以增加大量生产时间与减少生产成本，大大提高生产效率；水导入系统可以通过控制面板简单的人为操作，对于高科技精确控制也可以通过程序以氢气含量为标准自动进行水导入量的控制。本实用新型能有效控制蒸镀设备内的氢气含量，有效提高生产效率和产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 干燥 导入 系统 | ||
【主权项】：
1.蒸镀设备干燥水导入系统，包括蒸镀腔室，其特征在于，还包括一纯水气化单元、一纯水供给单元，纯水供给单元通过导管与纯水气化单元相连，纯水气化单元通过管道与蒸镀腔室相连，管道上安装有流量控制器。
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