[实用新型]晶棒专用测量平板无效
| 申请号： | 200820041143.7 | 申请日： | 2008-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN201237501Y | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 任先林;宋秦川 | 申请（专利权）人： | 常州松晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213127江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种测量装置，特别涉及一种晶棒专用测量平板。本实用新型平板的下部设有安装孔，所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。本实用新型可以增大与被测量晶棒的接触面积，减小晶棒的磨损率，以及还能使晶棒紧贴于平板上的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 专用 测量 平板 | ||
【主权项】：
1. 一种晶棒专用测量平板，平板的下部设有安装孔，其特征在于：所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。
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