[实用新型]晶棒专用测量平板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测量装置，特别涉及一种晶棒专用测量平板。

背景技术

“T”型石英晶棒的准确测量，是该石英晶棒切割成石英晶片前对晶棒粘胶时基准面和调整面的测角，测量的标准程度，直接影响石英晶片的角度。

测量石英晶棒大多通过平板进行定位。目前X射线定向仪上使用的平板，是宽度为30mm的平板，这种平板是为测量宽度为25mm左右的晶片设计，在测量石英晶片时完全够用。但在测量石英晶棒时，由于石英晶棒长度为210mm左右，平板相对于石英晶棒的长度过于太短，容易造成石英晶棒磨损变形，石英晶棒放置不稳，测量的晶棒YY′方向角度不对称，比如一头为+3′，另外一头为-2′，在粘胶调整时不知调整哪个角度等缺点。另外，平板的宽度同对角器上面的基准平板长度相差太大，造成测量区域与粘胶时的作为基准的区域不一致也会形成误差，从而导致影响石英晶片的切割精度。

发明内容

针对上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶棒专用测量夹板，它可以增大与被测量晶棒的接触面积，减小晶棒的磨损率，以及还能使晶棒紧贴于平板上的优点。

本实用新型的目的是这样实现的：平板的下部设有安装孔，所述平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，平板的中间区域设有多个吸气孔。

所述平板的长度和左、右支撑板的长度之和等于对角器基准平板长度。

所述多个吸气孔布置成多列，其中位于左列和右列吸气孔的数目相等，位于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目相等，位于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目多于左列或右列吸气孔的数目。

采用了上述方案，平板上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板，左、右支撑板的长度之和为晶棒长度的三分之二，通过支、右撑板的支撑作用，可以增大晶棒与平板的接触面积，容易与平板紧贴，减少因磨损出现的误差。平板的中间区域设有多个吸气孔，晶棒检测时，在平板的吸气孔区域连接抽气泵，通过抽气泵经吸气孔产生负压，进一步增强晶棒与平板的紧贴性。而且通过负压还可便于将晶棒放置到平板上，利于提高工作效率。

所述平板的长度和左、右支撑板的长度之和等于对角器基准平板长度。使测量区域同调整区域一致，造成测量区域与粘胶时的作为基准的区域不一致也会形成误差，从而导致影响晶片的切割精度。

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型的一种优选实施例的结构示意图；

附图中，1为平板，2为安装孔，3为左支撑板，4为右支撑板，5为吸气孔。

具体实施方式

参照图1，本实用新型的晶棒专用测量平板，平板1的下部设有安装孔2。平板1上部的左侧面设有向左方延伸的左支撑板3，平板上部的右侧面设有向右方延伸的右支撑板4，形成“T”型的平板，左、右支撑板与平板1一体成型。平板1和左、右支撑板的长度之和等于对角器基准平板长度，使得测量区域与平板粘胶时的作为基准的区域一致，以减少测量误差。左、右支撑板3、4的长度之和为150mm，为晶棒长度的三分之二左右，可增大晶棒与支撑板的接触面积。平板1的中间区域设有多个吸气孔5，这些吸气孔布置成多列，其中位于左列和右列吸气孔的数目相等，位于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目相等，位于左列和右列吸气孔之间的各列吸气孔数目多于左列或右列吸气孔的数目。在平板的吸气孔区域连接抽气泵，通过抽气泵经吸气孔产生负压。晶棒检测时，可进一步增强晶棒与平板的紧贴性。

本实用新型结构虽然较为简单，但实用性强。

上述实施例是用于说明本实用新型，而不是对本实用新型的限制，在实用新型的构思前提下对实用新型的改进，都属于本实用新型权利要求保护的范围。