[实用新型]镀膜机防屑型抽真空口结构无效
| 申请号： | 200820040029.2 | 申请日： | 2008-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN201217689Y | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 张远翔 | 申请（专利权）人： | 泰艺电子(南京)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 211100江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型针对现有的镀膜机抽真空口的金属丝防护网结构易进入颗粒且降低抽真空速率的不足，提供了一种可将颗粒异物挡住同时还不降低抽真空速率的镀膜机防屑型抽真空口结构，它包括有真空腔体(1)，高抽真空管(4)的上端口位于真空腔体(1)的底部并与其连通，其特征是高抽真空管(4)的上端口装有固定挡圈(2)，拔插式防护罩(3)的内环(6)套在固定挡圈(2)上，拔插式防护罩(3)的外壳(5)下沿低于内环(6)上沿。本实用新型可有效防止颗粒异物进入抽真空口损坏分子泵，且不影响抽真空速率，拔插式结构也便于维护清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 机防屑型抽真 空口 结构 | ||
【主权项】：
1、一种镀膜机防屑型抽真空口结构，包括有真空腔体(1)，高抽真空管(4)的上端口位于真空腔体(1)的底部并与其连通，其特征是高抽真空管(4)的上端口装有固定挡圈(2)，固定挡圈(2)上套有拔插式防护罩(3)。
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