[实用新型]镀膜机防屑型抽真空口结构无效
申请号: | 200820040029.2 | 申请日: | 2008-07-18 |
公开(公告)号: | CN201217689Y | 公开(公告)日: | 2009-04-08 |
发明(设计)人: | 张远翔 | 申请(专利权)人: | 泰艺电子(南京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人: | 徐冬涛 |
地址: | 211100江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 机防屑型抽真 空口 结构 | ||
【权利要求书】:
1、一种镀膜机防屑型抽真空口结构,包括有真空腔体(1),高抽真空管(4)的上端口位于真空腔体(1)的底部并与其连通,其特征是高抽真空管(4)的上端口装有固定挡圈(2),固定挡圈(2)上套有拔插式防护罩(3)。
2、根据权利要求1所述的镀膜机防屑型抽真空口结构,其特征是所述拔插式防护罩(3)的内环(6)套在固定挡圈(2)上,拔插式防护罩(3)的外壳(5)下沿低于内环(6)上沿。
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