[实用新型]真空设备的感测装置

摘要

一种真空设备的感测装置，该真空设备包含一界定出一真空容室的真空腔体，而该感测装置包含：一气密地插接在该真空腔体上的安装单元、一装设在安装单元外侧的隔离件、一将隔离件定位在安装单元上的衔接单元及一固定地安装在衔接单元上的感测元件。该安装单元包括一沿其长向贯穿且连通真空容室的通道。该隔离件安装在通道的外端上用于阻隔通道使其不与外界连通。该感测元件能透过隔离件感测到通道内的物性。通过安装单元与衔接单元的装设及隔离件的阻隔，将感测元件安装在真空腔体外，可具有较准确的感测结果，而且也利于调整换装。

主权项

1.一种真空设备的感测装置，所述真空设备包含一个界定出一个真空容室的真空腔体，所述真空腔体具有一个贯穿内、外壁面的安装孔，其特征在于，所述感测装置包含：一个安装在安装孔中且包括一个连通真空容室的通道的安装单元、一片安装在通道远离真空容室的外端上且用于阻隔在通道与外界之间的隔离件、一个安装在安装单元与隔离件的外侧面上且用于将隔离件定位在安装单元上的衔接单元、及一个安装在衔接单元上且能透过隔离件感测通道内部的感测元件。