[发明专利]光学镀膜装置无效
| 申请号： | 200810302468.0 | 申请日： | 2008-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101620279A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 吴佳颖 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及蒸镀源。所述基板承载架与所述转动轴连接并设置在所述真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在所述真空镀膜室的底部，一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置，基板承载架外边缘延伸一环形凸缘，该环形凸缘伸入所述滑槽内。本发明所提供的光学镀膜装置，由于基板承载架外边缘延伸出一环形凸缘，并伸入真空镀膜室内壁上的凹槽内，隔离了基板承载架正反面的空间，所以有效的防止镀膜过程中，镀材污染基板承载架背面镜片表面的情况发生，从而改善镜片的镀膜品质。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及蒸镀源，所述基板承载架与所述转动轴连接并设置在所述真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在所述真空镀膜室的底部，其特征在于，一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置，基板承载架外边缘延伸一环形凸缘，该环形凸缘伸入所述滑槽内。
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