[发明专利]一种晶片及验证缺陷扫描机台的方法有效
| 申请号： | 200810241031.0 | 申请日： | 2008-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101451962A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 张维怡;黄文亮;王湛 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/93 | 分类号： | G01N21/93 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100871北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种验证缺陷扫描机台的方法，为了解决标准片的费用高，不易频繁的使用的问题，本发明公开的方法包括：在使用标准片验证合格后的缺陷扫描机台上，扫描晶片本体表面带有颗粒的定期测试晶片，记录定期测试晶片上的颗粒参数作为标准颗粒参数；在之后缺陷扫描机台日常监控中，将定期测试晶片在缺陷扫描机台上扫描，记录颗粒参数；比较日常监控中记录的颗粒参数和标准参数的差值，若在设定的阈值范围内，则缺陷扫描机台检测合格，反之则不合格。由于自制定期测试晶片，避免了标准片频繁使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 验证 缺陷 扫描 机台 方法 | ||
【主权项】：
1、一种验证缺陷扫描机台的方法，其特征在于，包括：在使用标准片验证合格后的缺陷扫描机台上，扫描晶片本体表面带有颗粒的定期测试晶片，记录定期测试晶片上的颗粒参数作为标准颗粒参数；在之后缺陷扫描机台日常监控中，将定期测试晶片在缺陷扫描机台上扫描，记录颗粒参数；比较日常监控中记录的颗粒参数和标准参数的差值，若在设定的阈值范围内，则缺陷扫描机台检测合格，反之则不合格。
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