[发明专利]一种线条倾斜的集成螺旋电感及其制造方法无效
| 申请号： | 200810237482.7 | 申请日： | 2008-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101552088A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 谭延亮 | 申请（专利权）人： | 衡阳师范学院 |
| 主分类号： | H01F17/00 | 分类号： | H01F17/00;H01L27/01;H01L21/71 |
| 代理公司： | 衡阳市科航专利事务所 | 代理人： | 潘桂英 |
| 地址： | 421008湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种线条倾斜的集成螺旋电感，它包括衬底、设在衬底上的介质层、设在介质层内的螺旋电感金属线圈线条及通过介质层内的过孔和螺旋电感金属线圈的线条连接的下层引出线，其螺旋电感金属线圈的线条相对于螺旋电感中心同时向内或者向外倾斜一定角度，其倾斜的角度为30＜α＜70度。本发明还提供了一种线条倾斜的集成螺旋电感的制造方法：首先在介质层上按平面螺旋电感几何参数按照用灰度掩模刻蚀介质层，刻蚀出截面近似为三角形的连续槽；然后在凹面与下层金属引出线相连处刻蚀过孔，再在凹面上及过孔镀金属层；再利用光刻胶掩蔽刻蚀金属层，得到需要的集成电感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线条 倾斜 集成 螺旋 电感 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种线条倾斜的集成螺旋电感，它包括衬底、设在衬底上的介质层、设在介质层内的螺旋电感金属线圈线条及通过介质层内的过孔和螺旋电感金属线圈的线条连接的下层引出线，其特征是：其螺旋电感金属线圈的线条相对于螺旋电感中心同时向内倾斜一定角度，其倾斜的角度为30＜α＜70度。
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