[发明专利]增强排气型复合分子泵无效
申请号: | 200810228430.3 | 申请日: | 2008-10-31 |
公开(公告)号: | CN101457758A | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 刘坤;李涛;常学森;巴德纯 | 申请(专利权)人: | 东北大学;成都南光机器有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 沈阳东大专利代理有限公司 | 代理人: | 李运萍 |
地址: | 110004辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种增强排气型复合分子泵,涉及真空技术领域,包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子,转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成,光轴与转子体连接,转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方,螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子,增强排气级转子为光板;涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片,螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子,增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理,通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵,该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。 | ||
搜索关键词: | 增强 排气 复合 分子 | ||
【主权项】:
1. 一种增强排气型复合分子泵,包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子,其特征是所述的转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成,所述的光轴与转子体连接,转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方,螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子,增强排气级转子为光板;涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片,螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子,增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。
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