[发明专利]有机电致发光器件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种有机电致发光器件及其制造方法，其中方法包括：步骤1、在基板上形成第一电极；步骤2、在基板上连续形成非光敏性有机绝缘材料和正性光刻胶，采用掩模板对正性光刻胶进行曝光，然后显影和刻蚀，并保留正性光刻胶，形成绝缘层图形；步骤3、在经过步骤2的基板上形成正性光刻胶，采用能够形成隔离柱的掩模板对步骤3中形成的正性光刻胶进行曝光和显影，形成隔离柱图形；步骤4、在经过步骤3之后的基板上形成有机材料层；步骤5、在经过步骤4之后的基板上形成第二电极。该方法避免采用价格昂贵的光敏性有机绝缘材料，能够降低绝缘层的生产成本，并克服绝缘层和隔离柱之间由于材料差异导致的接触不稳定的问题。

主权项

一种有机电致发光器件制造方法，其特征在于，包括：步骤1、在基板上形成第一电极；步骤2、在形成有所述第一电极的基板上连续形成非光敏性有机绝缘材料和正性光刻胶，采用能够形成绝缘层图形的掩模板对所述正性光刻胶进行曝光，然后显影和刻蚀，并保留正性光刻胶，形成绝缘层图形；步骤3、在经过所述步骤2的基板上形成正性光刻胶，采用能够形成隔离柱的掩模板对所述步骤3中形成的正性光刻胶进行曝光和显影，形成隔离柱图形；步骤3中形成的正性光刻胶的材料与步骤2中形成的正性光刻胶材料相同；步骤4、在经过所述步骤3之后的基板上形成有机材料层；步骤5、在经过所述步骤4之后的基板上形成第二电极。