[发明专利]一种复合膜片压力传感器结构无效
| 申请号： | 200810224110.0 | 申请日： | 2008-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN101726384A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 王晓东;樊中朝;季安;邢波;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种复合膜片压力传感器结构，包括：一单晶硅层，该单晶硅层的一面为凹型；一多孔硅层，该多孔硅层生长在单晶硅层凹型的内表面。本发明在不影响低量程传感器灵敏度的前提下，采用多孔硅和单晶硅复合膜片，减小膜片的非线性形变，从而减小膜片挠度，最终达到提高低量程传感器灵敏度或降低非线性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 膜片 压力传感器 结构 | ||
【主权项】：
一种复合膜片压力传感器结构，包括：一单晶硅层，该单晶硅层的一面为凹型；一多孔硅层，该多孔硅层生长在单晶硅层凹型的内表面。
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