[发明专利]一种复合膜片压力传感器结构无效
| 申请号： | 200810224110.0 | 申请日： | 2008-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN101726384A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 王晓东;樊中朝;季安;邢波;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 膜片 压力传感器 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合膜片压力传感器结构，包括：
一单晶硅层，该单晶硅层的一面为凹型；
一多孔硅层，该多孔硅层生长在单晶硅层凹型的内表面。
2.根据权利1所述的复合膜片压力传感器结构，其中该凹型单晶硅层的底面为平板型结构。
3.根据权利1所述的复合膜片压力传感器结构，其中该凹型单晶硅层的底面为岛状结构。
4.根据权利3所述的复合膜片压力传感器结构，其中岛状结构为单岛、双岛或多岛结构。
5.根据权利3或4所述的复合膜片压力传感器结构，其中岛状结构为方形岛、矩形岛或圆形岛结构。
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