[发明专利]分段形标记对准信号处理方法有效
| 申请号： | 200810203801.2 | 申请日： | 2008-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101436005A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 张勇;宋海军;李焕炀 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种分段形标记对准信号处理方法，通过对分段形标记的对准扫描形成的平顶波形进行卷积滤波处理，对光信息随扫描位置变化的非对称性波形进行非对称模型校正处理，以及对可能出现的旁瓣进行旁瓣滤波处理，减小逼近处理的误差，大幅提高对准精度和捕获精度，提高了分段形标记的对准扫描状态的适应性，进而提高了对准系统进行对准扫描的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 分段 标记 对准 信号 处理 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种分段形标记对准信号处理方法，其特征在于包括以下步骤：同步采集分段形对准标记的绝对位置数据以及光信息数据，并对所述绝对位置数据进行空间变换，对光信息数据进行过滤处理；利用上述处理过的位置数据和光信息数据，建立对称逼近模型和非对称逼近模型，分别求两个模型的模型参数；根据上述模型参数计算分段形标记成像的对准位置数据。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司，未经上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810203801.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：蓝梅或蓝梅提取物含片
- 下一篇：天然野菜馅饺子及其制作方法
