[发明专利]化学机械抛光清洗装置有效
| 申请号： | 200810201823.5 | 申请日： | 2008-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101722476A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 杨波;陈增祥 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00;B08B1/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种化学机械抛光清洗装置，包括第一压缩干燥空气管、第二压缩干燥空气管和至少一组清洗刷，所述每组清洗刷包括第一刷子和第二刷子，每个刷子具有两端部，所述第一、第二压缩干燥空气管对应于每个刷子的每个端部设有一支路，所述端部与支路之间通过一气动执行部件相连，所述第一、第二压缩干燥空气管连接至每一刷子端部的支路上皆设置一针形阀，本发明在每个压缩干燥空气管上加装针型阀，使得压缩干燥空气可同时到达每个气动执行部件，另外还能有效的减小作用于气动执行部件上的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光清洗装置，包括第一压缩干燥空气管、第二压缩干燥空气管和至少一组清洗刷，所述每组清洗刷包括第一刷子和第二刷子，每个刷子具有两端部，所述第一、第二压缩干燥空气管对应于每个刷子的每个端部设有一支路，所述端部与支路之间通过一气动执行部件相连，其特征在于：所述第一、第二压缩干燥空气管连接至每一刷子端部的支路上皆设置一针形阀。
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