[发明专利]红外探测器像元应力的监控结构及监控方法有效
| 申请号： | 200810201308.7 | 申请日： | 2008-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101386401A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭;姜利军 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;浙江大立科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01J5/10;B81C1/00;B81C5/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 郑 玮 |
| 地址： | 201203上海市张江高科*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外探测器像元应力的监控结构及监控方法，用于监控红外探测器像元结构中的应力。所述监控结构采用与红外探测器像元结构相同的制造工艺制造，其包括从下至上依次层叠的金属反射层，牺牲层，释放保护及支撑层，敏感材料层，以及覆盖于所述敏感材料层上的未经过图形化处理的金属电极，所述金属反射层作为一下电极板，金属电极作为一上电极板，利用上、下电极板间的电容特性来监控所述红外探测器像元结构中的应力。本发明基于电容值随上、下极板间距变化的原理，通过对电容值进行监测，可以反映出金属反射层与金属电极之间的距离变化，即反应了是否存在极板翘曲现象，从而实现对红外探测器像元结构在应力影响下产生翘曲程度的监控。 | ||
| 搜索关键词： | 红外探测器 应力 监控 结构 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种红外探测器像元应力的监控结构，用于监控一红外探测器像元结构中的应力，其特征在于，所述监控结构包括从下至上依次层叠的金属反射层，牺牲层，释放保护及支撑层，敏感材料层，以及覆盖于所述敏感材料层上的未经过图形化处理的金属电极，其中，所述金属反射层作为一下电极板，金属电极作为一上电极板，利用所述上、下电极板间的电容特性来监控所述红外探测器像元结构中的应力。
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