[发明专利]微机电系统的跨时间尺度仿真方法

摘要

本发明公开了一种微机电系统的跨时间尺度仿真方法，属于微机电系统建模与仿真领域。该方法将微机电系统系统级模型中的组件分为高频组和低频组，在第一次仿真中将低频组作为仿真对象，用较大步长进行时域仿真，在第二次仿真中将低频组仿真结果与高频组组件作为仿真对象，用较小步长进行时域仿真，当需要用到低频组中组件的信号值时，对第一次仿真得到的仿真结果进行插值。使用该方法仿真时，低频组仿真时不考虑高频组的影响进行单独仿真，仿真规模减小；此外，对高频组进行仿真时只利用低频组仿真的结果，不耗费资源求解低频组中组件的模型，仿真规模减小，从而解决了现有技术中由时间尺度的差异带来的低效问题。

主权项

1.一种微机电系统的跨时间尺度仿真方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：将微机电系统的系统级模型中的组件分到低频组和高频组，微机电系统的机械组件、不受载波影响的电学组件和不受载波影响的机械-电学耦合组件属于低频组件，光学组件、受载波影响的电学组件、机械-光学耦合组件和受载波影响的机械-电学耦合组件属于高频组件；步骤二：在系统级行为求解器中，将低频组作为仿真对象进行时域仿真，初始步长根据精度要求设置，取如下值中的最小值：最小时间常数的1/10、方波或脉冲信号源的最短上升或下降时间、正弦信号源周期的1/100，产生的仿真结果是与时间点对应的信号值；步骤三：在系统级行为求解器中，将步骤二中时域仿真的结果与高频组作为仿真对象进行时域仿真，初始步长根据精度要求设置，取如下值中的最小值：最小时间常数的1/10、方波或脉冲信号源的最短上升或下降时间、正弦信号源周期的1/100；当需要用到低频组中组件的信号值时，对步骤二中时域仿真的结果进行插值，得到所需时间点处的信号值。