[发明专利]微机电系统的跨时间尺度仿真方法

权利要求书

1.一种微机电系统的跨时间尺度仿真方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：将微机电系统的系统级模型中的组件分到低频组和高频组，微机电系统的机械组件、不受载波影响的电学组件和不受载波影响的机械-电学耦合组件属于低频组件，光学组件、受载波影响的电学组件、机械-光学耦合组件和受载波影响的机械-电学耦合组件属于高频组件；

步骤二：在系统级行为求解器中，将低频组作为仿真对象进行时域仿真，初始步长根据精度要求设置，取低频组中如下值中的最小值：最小时间常数的1/10、方波或脉冲信号源的最短上升或下降时间、正弦信号源周期的1/100，产生的仿真结果是与时间点对应的信号值；

步骤三：在系统级行为求解器中，将步骤二中时域仿真的结果与高频组作为仿真对象进行时域仿真，初始步长根据精度要求设置，取高频组中如下值中的最小值：最小时间常数的1/10、方波或脉冲信号源的最短上升或下降时间、正弦信号源周期的1/100；当需要用到低频组中组件的信号值时，对步骤二中时域仿真的结果进行插值，得到所需时间点处的信号值。

2.一种如权利要求1所述的微机电系统的跨时间尺度仿真方法，其特征在于，所述的步骤三中所用的插值方法为分段线性插值方法或分段三次样条插值方法。