[发明专利]蚀刻液浓度控制方法无效
| 申请号： | 200810172044.7 | 申请日： | 2008-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101727023A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈志行 | 申请（专利权）人： | 浩硕科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G05D11/00;G01N31/16;G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 武晶晶;杨淑媛 |
| 地址： | 中国台湾桃园县中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种蚀刻液浓度控制方法，其步骤包括：监控蚀刻液的浓度变化值；比例化该浓度变化值而得比例值；比例化该浓度变化值的时间积分值而得比例积分值；比例化该浓度变化值的时间微分值而得比例微分值；以及根据该比例值、该比例积分值及该比例微分值，补充该蚀刻液。本发明采用积分、微分以及比例化等计算方式得到酸碱药液的补充量，以进行补药维持蚀刻液浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 浓度 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液浓度控制方法，其步骤包括：设定蚀刻液的目标浓度值；测量所述蚀刻液得到测量浓度值；根据所述目标浓度值与所述测量浓度值，而计算出差值；比例化所述差值而得比例值；比例化所述差值的时间积分值而得比例积分值；比例化所述差值的时间微分值而得比例微分值；及根据所述比例值、所述比例积分值及所述比例微分值，补充所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。
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