[发明专利]蚀刻液浓度控制方法

权利要求书

1.一种蚀刻液浓度控制方法，其步骤包括：

设定蚀刻液的目标浓度值；

测量所述蚀刻液得到测量浓度值；

根据所述目标浓度值与所述测量浓度值，而计算出差值；

比例化所述差值而得比例值；

比例化所述差值的时间积分值而得比例积分值；

比例化所述差值的时间微分值而得比例微分值；及

根据所述比例值、所述比例积分值及所述比例微分值，补充所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。

2.如权利要求1所述的方法，其步骤还包括：

采用离子层析法、滴定法以及光谱分析法中的任一种方式测量蚀刻液浓度。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述滴定法用微泵自所述蚀刻液中抽取蚀刻液样本。

4.如权利要求3所述的方法，其步骤还包括：

从醇中选出稀释液，以稀释所述蚀刻液样本。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述醇包括乙二醇、丙二醇、甘油和异丙醇。

6.如权利要求1所述的方法，其中：

当所述时间微分值落入第一范围内时，所述比例积分值是零；

当所述时间微分值落入第二范围内时，所述比例微分值是零；或

当所述时间微分值落入第三范围内时，所述比例微分值是负值。

7.如权利要求1所述的方法，所述蚀刻液是酸或碱。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述酸包括盐酸、氢氟酸、硝酸、醋酸、磷酸、硫酸或其混合物；所述碱包括氢氧化钠、氢氧化钾、氨或其混合物。

9.如权利要求1所述的方法，其中：

当所述目标浓度值大于所述量测浓度值时，则根据所述差值增加所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值；或

当所述目标浓度值小于所述量测浓度值时，则根据所述差值减少所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。

10.一种蚀刻液浓度控制方法，其步骤包括：

监控蚀刻液的浓度变化值；

比例化所述浓度变化值而得比例值；

比例化所述浓度变化值的时间积分值而得比例积分值；

比例化所述浓度变化值的时间微分值而得比例微分值；及

根据所述比例值、所述比例积分值及所述比例微分值，补充所述蚀刻液。

11.如权利要求10所述的方法，其步骤还包括：

设定所述蚀刻液的第一浓度值，测量所述蚀刻液得到第二浓度值，并根据所述第一浓度值与所述第二浓度值，得到所述浓度变化值。

12.如权利要求10所述的方法，其中所述比例值是所述浓度变化值与第一定值的乘积，所述比例积分值是所述时间积分值与第二定值的乘积，所述比例微分值是所述时间微分值与第三定值的乘积。