[发明专利]表面构造测量装置、表面构造测量方法和表面构造测量程序有效
| 申请号： | 200810168618.3 | 申请日： | 2008-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN101413795A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 日高宏幸;小岛司 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 吕晓章 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量被测物表面构造的表面构造测量装置、表面构造测量方法和表面构造测量程序。一种表面构造测量装置包括显示控制单元，用于显示具有绘图标记的输入区域的绘图标记输入屏。提供输入接受单元，接受向绘图标记输入屏中所提供的输入区域中输入的绘图标记。提供运算单元，基于在输入接受单元接受的绘图标记，由被测物表面位移的测量结果，计算表示被测物表面构造的表面构造信息。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 构造 测量 装置 测量方法 程序 | ||
【主权项】：
1、一种表面构造测量装置，包括：显示控制单元，用于显示具有绘图标记的输入区域的绘图标记输入屏；输入接受单元，用于接受向绘图标记输入屏中所提供的输入区域中输入的绘图标记；和运算单元，用于基于在输入接受单元接受的绘图标记，由被测物表面位移的测量结果，计算表示被测物表面构造的表面构造信息。
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